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納米型顯微CT柱狀測試圖樣模體（MicroCT Bar Pattern NANO Phantom），內(nèi)含兩個3 x 3 mm² 硅質(zhì)芯片，分別水平和垂直安裝，通過塑料支架固定在模體的中心位置。雙硅芯片上均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點狀圖樣，線寬和點直徑從1µm到15µm不等，結(jié)構(gòu)的深度在5和15µm 之間變化。用戶僅通過一次曝光和測量，就可以對整個芯片的中心以及外圍的分辨率做出評估。通過最直接、可見的方式評估3D高分辨率顯微CT(Micro-CT)系統(tǒng)的平面及軸向空間分辨率。 產(chǎn)地：德國
品名：MicroCT-Barpattern-NANO
模體參數(shù)
直徑：5.2mm
高度：19.1mm
材料：致密塑料 芯片參數(shù)
直徑：2.96mm
高度：0.66mm
材料：硅
芯片結(jié)構(gòu)：1-15µm
結(jié)構(gòu)深度：5-15µm
對比材料 ：硅/空氣 芯片上的線寬/點寬與線對數(shù)量的對應(yīng) 1 至 15 µm 結(jié)構(gòu)的圖案 芯片結(jié)構(gòu)分布 芯片結(jié)構(gòu)描述 部分1結(jié)構(gòu) 部分2結(jié)構(gòu)